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关于低温真空泵的简介

[来源：未知] 　[作者白云泵业] [日期：2016-03-21 10:14] [热度：]

低温真空泵又叫低温泵、冷泵、冷凝泵。低温泵的冷源可以是低温液体(液氮或液氦)，也可以是低温制冷机。这里介绍制冷机型低温泵，这种低温泵的制冷机在两个温度级上产生制冷，分别冷却两个低温表面，被抽的气体就被冷却在低温表面上。

制冷机的一级通常工作在50K—70K范围，它用来冷却靠外的冷板，这个外部冷板既为更冷的冷板充当防辐射的屏蔽，同时又用来冷却挡在泵入口处的百叶窗(障板)，当水蒸汽碰到障板上时就被冷冻在它上面，这极像液氮冷阱冷冻水蒸气的情形。

制冷机的二级，即最冷的一级，通常工作在10K—20K之间，用来冷却靠内的冷板，它冷冻穿过百叶窗的N2、O2、Ar等气体。不能被这一温度冷冻的气体被位于冷板内部的活性炭吸附。

关键字：低温真空泵,冷凝泵

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